반도체·디스플레이 업종 특화 기대
누출 신속 탐지 및 자동 확산 차단
국유 특허 기술을 산업계 첫 보급
시범사업 후 올 하반기 확대 추진
유해화학물질 누출 등으로 터질 사고를 사전에 차단할 기술이 개발됐다.
화학물질안전원(원장 박봉균)은 화학사고 위험을 줄이기 위해 자체 개발한 '신속 누출 탐지 및 차단 기술'을 탑재한 반도체 가스공급설비를 시범 설치한다고 8월 6일 밝혔다.
반도체·디스플레이 업종은 공정 특성상 독성물질과 인화성물질을 많이 사용해 누출 시 피해 영향범위가 다른 업종보다 더 크다.
그래서 신속하게 누출을 탐지해 즉시 차단해야 위험을 줄일 기술력이 절실했다.
가스공급설비(캐비닛, Cabinet)에서 누출이 발생하면 누출 가스를 신속히 포집해 중화처리 설비로 이송해야 하나, 가스 누출 감지가 늦어져 일부 고압가스가 실내로 유입돼 작업자 피해가 줄수 있다.
이를 방지하기위해 신속한 가스 누출 탐지와 차단이 필요한 상황이다. 화학물질안전원은 2023년부터 자체 연구를 통해 위험성을 확인했다.
2024년에 초음파 탐지기를 활용해 보다 빠르게 누출을 감지하고 실내 유입을 막는 원천 기술 특허를 국내외에 출원했다. 이 기술을 적용하기 위해 화학물질안전원의 국유 특허를 활용해 에스엠인스트루먼트(주)와 손잡고 2025년 6월에 초음파 탐지기 시제품을 개발했다.
화학물질안전원은 8월 6일부터 반도체 업체 에스케이실트론(주)에 누출가스 신속 탐지 및 유입 자동 차단 기술을 설치하는 시범 사업할 예정이다.
기존 가스공급설비에 설치된 전기화학 가스감지기의 단점은 흡입관을 통해 누출된 가스를 흡입 접촉 방식으로 흡입관 길이에 따라 감지가 더뎠다. 그러나 이번 초음파 기반 누출 탐지 장비는 음파를 활용해 0.5초 이내에 누출을 탐지하고, 가스 종류에 상관없이 사용 장점이 있다.
이 기술을 적용 시 염화수소 취급 공급설비 경우 피해 영향범위가 264m(기존 안전설비 경우 517m)로 줄어 누출된 가스의 실내 유입 차단을 막을 수 있다.
화학물질안전원은 시범사업의 효과를 분석해 국내 반도체·디스플레이 사업장에 홍보하고, 가스공급설비 국제 표준(SEMI) 인증에 반영될 수 있도록 검증기관과 협의할 계획이다.
박봉균 화학물질안전원장은 "이번 사례는 현장 위험성 평가과정에서 누출감지 지연 문제를 발견해 이를 해결하기 위한 아이디어를 내고 실제 시제품 개발까지 성공했다는 데 의의가 있다."며 "앞으로도 현장 중심의 안전 기술 개발을 발굴해 보다 안전한 환경을 만들 수 있게 지원하겠다."고 밝혔다. [환경데일리 = 김영민 기자]
